采用光学轮廓仪测量的型腔的形貌图，包括型腔的高度差、粗糙度和截面轮廓等。从图9可知，所加工的型腔侧壁较陡直。微细电解加工的型腔表面光滑，经光学轮廓仪测量的加工表面的面粗糙度Sa值为0．263μm，电解腐蚀后的不锈钢表面。

由于电极扫描速度为200μm/s，且无需制作微细成型电极，所以加工每个型腔样件效率非常高。该工艺在微流道、微模具型腔制作等方面具有很好发展前景。

基于激光表面改性，与微细电解加工相结合，研发了激光掩膜微细电解加工平台，探索了激光掩膜微细电解加工机理。首先利用光纤激光在304不锈钢表面打标，进行表面改性，生成了具有耐腐蚀性Fe、Cr氧化物掩膜层，再利用激光掩膜层在微细电解加工中做掩膜保护层实现微细加工。

加工试验结果证明激光掩膜微细电解复合加工工艺能快速加工出微细结构，该工艺在微细加工领域具有很好的发展前景。