在光纤激光掩膜微细电解加工装置上进行加工试验研究。首先选用合适的激光参数对304不锈钢工件进行掩膜化处理。

将已掩膜化处理过的样件在电解槽内进行微细电解加工试验，不锈钢片状电极作为阴极工具电极，已经被激光掩膜处理过的不锈钢工件作为阳极，数控系统使工具电极在不锈钢工件上方往复扫描进行电解加工，在电解加工过程中严格控制极间距离，加工中加工间隙保持不变。

微细电解加工参数，电解液采用1.8mol/L硝酸钠溶液，利用电解液循环系统中的微型隔膜泵提供动力，从小喷嘴喷射出高速流动的电解液，电解液流量为320mL/min，快速冲走电解产物，使电解加工顺利进行一次掩膜复合电解加工的型腔深度小，可重复多次掩膜电解加工，加工的型腔深度显著提高。图8是经三次掩膜微细电解加工的样件，型腔深度约23μm，激光制掩膜扫描速度20mm/s，且可同时加工多个样件。每一次掩膜后，片状电极在已掩膜工件表面上方往复走2次扫描电解加工，再进入下一次激光扫描制掩膜图案