为了抑制杂散腐蚀，实现微细电解加工，本文采用光纤激光表面工程技术，在304不锈钢表面直写扫描打标刻蚀图案，进行表面改性，生成具有耐腐蚀性保护掩膜，结合微细电解加工，生成复杂微细结构

研发的光纤激光掩膜微细电解加工装置是将光纤激光表面改性模块与微细电解加工模块安装在同一分辨率为0．4μm的三轴进给滑台上，解决激光掩膜电解复合加工定位问题

激光制掩膜模块采用脉冲式输出的光纤激光器，振镜光学振镜。

光纤激光器输出功率范围0～20W，最小激光光斑直径为10μm，激光输出频率范围0～100kHz，输出激光波长1．064μm。

通过精密激光器的光学聚焦系统形成直径很小的激光焦点，经过精密三坐标工作台、振镜能控制激光焦点在工件扫描路径，在工件表面加工直写，实现对工件表面加热区域的尺寸和形状严格控制，进行激光表面改性处理，可以在工件上生成具有特殊性质的复杂形状图案作为掩膜。由于采用的光纤激光功率小、脉冲性输出，脉冲宽度只有100ns，所以激光扫描过的表面熔层很薄、热作用区很小，生成亚微米级掩膜保护层